Normes ISO

relatives aux MEB, Microsonde, MET, EDS, WDS, EBSD

Les normes sont disponibles auprès de l’AFNOR, Paris.

Vous trouverez les résumés de ces normes sur la page réservée aux cotisants :

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nORMALISATION

  • La Normalisation dans le domaine du MEB et de la microanalyse X est effectuée au niveau international dans le cadre du comité technique ISO / TC 202 ‘’Analyse par micro-faisceaux’’ (créé en 1991).
  • 13 pays participent à l’élaboration des normes ISO /TC 202, dont la France (AFNOR – Association Française de NORmalisation). 
    → publication de 31 normes
  • Toutes les normes internationales sont réexaminées 1 fois tous les 5 ans.
    → confirmation, révision ou annulation

 

Domaine des travaux :

  • Normalisation dans le domaine de l’analyse par microfaisceaux : types de mesures, méthodes d’analyses, paramètres d’analyses et matériaux de référence (standard)
  • Analyses qui utilisent des électrons comme rayonnement incident ainsi que des électrons et des photons comme signal détecté
  • Objectif : analyser la composition et les caractéristiques de structure des matériaux solides

 

Le groupe ISO TC 202 est composé de différents sous-groupes :

Utilisation :

  • Les normes sont d’application volontaire
  • Elles peuvent être imposées par un donneur d’ordre
  • Le droit peut imposer l’utilisation d’une norme industrielle

 

Les documents cités ci-après sont les normes publiées au 1er septembre 2026.

ISO/TC 202/ SC 1 – TERMINOLOGIE (4 normes)

  • ISO 15932:2013 – Analyse par microfaisceaux — Microscopie électronique analytique – Vocabulaire.
  • ISO 22493:2014 – Analyse par microfaisceaux — Microscopie électronique à balayage – Vocabulaire.
  • ISO 23833:2013 – Analyse par microfaisceaux — Analyse par microsonde électronique (microsonde de Castaing) – Vocabulaire.

  • ISO 17297:2025 – Analyse par microfaisceaux – Application de faisceaux d’ions focalisés pour la préparation d’éprouvettes de MET — Vocabulaire

ISO/TC 202/ SC 2 – MICROANALYSE PAR SONDE A ELECTRONS (8 normes)

  • ISO 11938:2012 – Analyse par microfaisceaux — Analyse par microsonde électronique (microsonde de Castaing) — Méthodes d’analyse par cartographie élémentaire en utilisant la spectrométrie à dispersion de longueur d’onde.
  • ISO 14594:2024 – Analyse par microfaisceaux — Analyse par microsonde électronique (Microsonde de Castaing) — Lignes directrices pour la détermination des paramètres expérimentaux pour la spectrométrie à dispersion de longueur d’onde.
  • ISO 14595:2023 – Analyse par microfaisceaux — Microanalyse par sonde à électrons — Lignes directrices pour les spécifications des matériaux de référence certifiés (CRM).
  • ISO 16592:2012 – Analyse par microfaisceaux — Analyse par microsonde électronique (microsonde de Castaing) — Lignes directrices pour le dosage du carbone dans les aciers par la droite d’étalonnage.
  • ISO 17470:2014 – Analyse par microfaisceaux — Analyse par microsonde électronique (Microsonde de Castaing) — Lignes directrices pour l’analyse qualitative ponctuelle par spectrométrie de rayons X à dispersion de longueur d’onde (WDX).
  • ISO 22489:2016 – Analyse par microfaisceaux — Microsonde de Castaing — Analyse quantitative ponctuelle d’échantillons massifs par spectrométrie à dispersion de longueur d’onde (remplace ISO 22489-2006).
  • ISO 19463:2018 – Analyse par microfaisceaux — Analyse par microsonde électronique (Microsonde de Castaing) — Lignes directrices pour la mise en œuvre des procédures d’assurance qualité.

  • ISO 23692:2021 – Analyse par microfaisceaux — Analyse par microsonde électronique (Microsonde de Castaing) – Analyse quantitative de la ségrégation dendritique en Mn dans un produit en acier coulé en continu

ISO/TC 202/ SC 3 – MICROSCOPIE ANALYTIQUE A ELECTRONS (7 normes)

  • ISO 19214:2024 – Analyse par microfaisceaux — Microscopie électronique analytique — Méthode de détermination de la direction apparente de croissance des cristaux filiformes par microscopie électronique en transmission.
  • ISO 25498:2025 – Analyse par microfaisceaux — Microscopie électronique analytique — Analyse par diffraction par sélection d’aire au moyen d’un microscope électronique en transmission.
  • ISO 29301:2023 – Analyse par microfaisceaux — Microscopie électronique en transmission analytique — Méthodes d’étalonnage du grandissement d’image au moyen de matériaux de référence de structures périodiques.
  • ISO 20263:2024 – Analyse par microfaisceaux — Microscopie électronique analytique — Méthode de détermination de la position d’interface dans l’image de coupe transversale des matériaux en couches.

  • ISO 23420:2021 – Analyse par microfaisceaux – Microscopie électronique analytique – Méthode pour la détermination de la résolution en énergie pour l’analyse des spectres de perte en énergie des électrons.

  • ISO 24639:2022 – Analyse par microfaisceaux – Microscopie électronique analytique – Procédure d’étalonnage de l‘échelle d’énergie pour l’analyse élémentaire par spectroscopie de perte d’énergie des électrons.

  • ISO 25387:2026 – Analyse par microfaisceaux – Microscopie électronique analytique – Modes opératoires de détermination de la résolution ponctuelle des microscopes électroniques à transmission à haute résolution.

ISO/TC 202/ SC 4 – MICROSCOPIE ELECTRONIQUE A BALAYAGE (12 normes)

  • ISO 16700:2016 – Analyse par microfaisceaux — Microscopie électronique à balayage — Lignes directrices pour l’étalonnage du grandissement d’image.
  • ISO/TS 24597:2011 – Analyse par microfaisceaux — Microscopie électronique à balayage — Méthodes d’évaluation de la netteté d’image.
  • ISO 13067:2020 – Analyse par microfaisceaux — Diffraction d’électrons rétrodiffusés — Mesurage de la taille moyenne des grains.
  • ISO 15632:2012 – Analyse par microfaisceaux — Paramètres de performance instrumentale sélectionnés pour la spécification et le contrôle des spectromètres X à sélection d’énergie utilisés en microanalyse par sonde à électrons.
  • ISO 22029:2020 – Analyse par microfaisceaux — Format de fichier standard EMSA/MAS pour échange de données spectrométriques.
  • ISO 22309:2011 – Analyse par microfaisceaux — Analyse élémentaire quantitative par spectrométrie à sélection d’énergie (EDS) des éléments ayant un numéro atomique de 11 (Na) ou plus.
  • ISO 24173:2009 – Analyse par microfaisceaux — Lignes directrices pour la mesure d’orientation par diffraction d’électrons rétrodiffusé

  • ISO 21466:2019 – Analyse par microfaisceaux – Méthode d’évaluation des dimensions critiques par CD-SEM – (Critical Dimension pour wafer SC : mesure des dimensions des motifs fins)

  • ISO/TS 21383:2021 – Analyse par microfaisceaux — Microscopie électronique à balayage – Qualification du MEB pour les analyses quantitatives

  • ISO 23749:2022 – Analyse par microfaisceaux – Diffraction d’électrons rétrodiffusés – Détermination quantitative de l’austénite dans l’acier

  • ISO 23703:2022 – Analyse par microfaisceaux – Lignes directrices relatives à l’analyse des défauts d’orientation pour l’évaluation des dommages mécaniques de l’acier inoxydable austénitique par diffraction d’électrons rétrodiffusés (EBSD)

  • ISO 20720:2018 – Analyse par microfaisceaux – Méthodes de préparation des échantillons pour l’analyse des particules