Pourquoi le MEB bas voltage peut-il compétitionner avec le MET conventionnel ? 

Raynald GAUVIN,
Université McGill, Montréal, Québec, Canada

e-mail : raynald.gauvin@mcgill.ca
WEB Site : memrg.com

Les microscopes en balayage avec émission de champs, les plus performants, permettent d'observer des précipités de quelques nanomètres dans des échantillons massifs avec des tensions d'accélération de 3 keV et moins et d'observer à 30 keV des colonnes d'atomes en transmission avec une résolution de 0,16 nm. Comment cela est-il possible ?

Pour répondre à cette question, une revue de l'optique électronique et des types de détecteurs sera présentée. Ensuite, une revue des principes pertinents des interactions-matières sera entreprise en insistant sur l'optimisation de la résolution spatiale selon le type d'échantillons à observer. L'importance des simulations de Monte-Carlo sera discutée dans l'optique d'interpréter et d'optimiser les images haute-résolutions.

De nombreux exemples seront présentés avec des alliages métalliques et des nanomatériaux observés en mode massif à 3 keV et moins et en mode STEM à 30 keV et moins. Des images EDS seront présentées et expliqués ainsi que des images EELS obtenues à 30 keV en mode STEM.