Techniques de reconstruction topographique à partir d'images MEB 

Eva HERIPRE
PIMM, Arts et Metiers Institute of Technology, CNRS, Cnam, HESAM University, 75013 Paris, France

La microscopie électronique à balayage, grâce à sa grande profondeur de champ, permet d'obtenir des images de la topographie de surface.

Dans cet exposé, nous présenterons les différentes techniques de mesure de cette topographie à partir de plusieurs images acquises au MEB, en électrons secondaires ou en électrons rétrodiffusés.

Les avantages et inconvénients de ces techniques seront mis en avant.