Imagerie en environnement gazeux – principes et exemples 

Tayeb AMRIOU – Christian MATHIEU,
UCCS Artois -  Faculté Jean Perrin – Rue Jean Souvraz – 62307 Lens cedex

Les microscopes à balayage sous environnement gazeux présentent la particularité de disposer de deux modes de fonctionnement qui permettent grâce à des détecteurs d’électrons spécifiques d’observer des échantillons dans les conditions de haut vide (10^-3 Pa) ou dans des conditions de bas vide ou la pression peut varier entre 1 et quelques centaines de Pa.

Ce dernier mode est utilisé pour l’observation d’échantillons isolants et/ou sensibles au dégazage. Les principes de détection des différents détecteurs seront explicités en lien avec les interactions se déroulant dans la chambre de l’échantillon.

Des exemples seront présentés pour une bonne optimisation de l’utilisation de ces détecteurs.