Les dérives en imagerie MEB : origine et corrections

Alain JADIN,
CERTECH, Seneffe - Belgique

Lors de l’acquisition d’images MEB, différentes perturbations peuvent dégrader la qualité. Il s’agit notamment du bruit électronique, de la distorsion et des autres aberrations issues de l’optique électronique. L’interaction entre le faisceau primaire et l’échantillon peut également être à l’origine de certaines altérations de l’image, par effet de charge, contamination, dégradation de la surface…

Les dérives résultent de ces différents effets, et se manifestent par un déplacement du champ observé. Elles peuvent avoir plusieurs origines, qui seront décrites dans cet exposé. On donnera également quelques pistes pour les réduire ou les éviter.