Analyse EDS sur échantillon massif à mince par la méthode des zêta facteurs corrigée du φ(ρz) (code IZAC)

Eric ROBIN
CEA Grenoble

La quantification par spectrométrie de rayons X à dispersion d’énergie repose sur :

1)  Les méthodes ZAF et φ(ρz) qui s'appliquent dans un microscope électronique à balayage sur des échantillons dont l'épaisseur est telle que le faisceau d'électrons est complètement arrêté dans le volume analysé (échantillons massifs ou dits opaques aux électrons). Le principe de base de ces méthodes est de corriger l'intensité des rayons X mesurée des effets de matrice qui affectent la génération (pouvoir d'arrêt et rétrodiffusion des électrons, fluorescence secondaire) et l'émission (absorption) des rayonnements dans le volume analysé.

2)  Les méthodes des k et zêta facteurs qui s’appliquent principalement dans un microscope électronique à transmission sur des échantillons dont l’épaisseur est telle que le taux de production de rayons X par unité de volume est constant sur toute l’épaisseur de l’échantillon (échantillons minces ou dits transparents aux électrons).

Après une brève introduction de ces méthodes et de leurs limites, je présenterai le code IZAC basé sur la méthode des zêta facteurs corrigée du φ(ρz) et qui s’applique indifféremment dans un microscope électronique à balayage ou à transmission, sur une large gamme de tension d'accélération (2.5-200 kV) et d’épaisseur de matériaux analysés (transparents, semi-transparents ou opaques aux électrons).